Фотолитография өрнекті маскадан вафлиге көшіру үшін үш негізгі процесс қадамын пайдаланады: жағу, әзірлеу, экспозиция. Үлгі пластинаның беткі қабатына келесі процесс кезінде тасымалданады. Кейбір жағдайларда қарсылық үлгісін салынған жұқа қабықтың үлгісін анықтау үшін де пайдалануға болады.
Фотолитография дегеніміз не ол қалай жұмыс істейді?
Фотолитография - фотосезімтал полимер маска арқылы таңдамалы түрде жарыққа әсер ететін, полимерде жасырын кескінді қалдыратын, кейін таңдамалы түрде ерітіліп, үлгіні қамтамасыз ететін үлгілеу процесі. негізгі субстратқа кіру.
Фотолитография не үшін қолданылады?
Фотолитография микрофабриканың ең маңызды және ең оңай әдістерінің бірі болып табылады және материалда егжей-тегжейлі үлгілерді жасау үшін пайдаланылады. Бұл әдісте жарыққа сезімтал полимерді ультракүлгін сәулеге селективті әсер ету арқылы пішінді немесе үлгіні оюға болады.
Неліктен УК сәулесі фотолитографияда қолданылады?
Фотолитография ультракүлгін сәулесінің астында жасушасы бар преполимерді айқастыру арқылы гидрогельдер ішіндегі жасушалардың 3D инкапсуляциясына мүмкіндік береді. Қажетті үлгіні алу үшін фотомаска қолданылады [88].
Фотолитографияға қандай талаптар қойылады?
Жалпы, фотолитография процесі үшін үш негізгі материал, жарық көзі, фото маска және фоторезист қажет. Фоторезист, фотосезімтал материал,оң және теріс екі түрі бар. Оң фоторезистс жарық көзінің әсерінен кейін ериді.
Photolithography: Step by step
