Магнетронның теңгерімсіз шашырауында плазма да субстратқа тартылады, аргон иондары да өсіп келе жатқан жұқа қабықты бомбалайды. … Субстраттың айналасында электрондардың болуы бейтарап газ атомдарының иондалуына және плазманың осы аймаққа енуіне әкеледі.
Магнетрон неліктен шашыратады?
Магнитронды шашырату электрондарды ұстау үшін жабық магнит өрісін пайдаланады, бұл бастапқы ионизация процесінің тиімділігін арттырады және төменгі қысымда плазманы жасайды, өсу процесінде фондық газдың қосылуын азайтады. газ соқтығысуы арқылы шашыраған атомдағы пленка және энергия шығыны.
Магнетронды шашырату үшін не қолдануға болады?
5 Магнетронның шашырауы. Магнетронды шашырату - арнайы жасалған магнитті қолдану арқылы көптеген материалдар түрлерін, соның ішінде металдар мен керамика сияқты көптеген түрдегі субстрат материалдарына тұндыруға мүмкіндік беретін жоғары жылдамдықты вакуумды жабын әдісі. өріс диодты шашырату нысанасына қолданылады.
Тұйық өрістің теңгерілмеген магнетронды шашырауы дегеніміз не?
Teer Coatings Ltd компаниясы әзірлеген Жабық өрісте теңгерімсіз магнетронды ионды шашырату жүйесі тамаша адгезиясы бар тығыз, қатты жабындарды тұндыру мүмкіндігін беретіноңтайландырылған тұндыру шарттарын жасайды. CFUBMSIP келісімі Teer Coatings Ltd компаниясына берілген патенттермен қамтылған.
Теңдестірілмеген магнетрон дегеніміз не?
Магнитрондар әдетте «теңдестірілген» немесе «теңгерімсіз» болып жіктеледі. … Егер нөлдік нүкте мақсатты бетке жақын болса, электрондар оңайырақ шығып кетуі мүмкін және магнетрон теңгерімсіз. Теңгерімсіз конструкциялар тұндырумен бір уақытта жұқа қабықтың жоғары иондық бомбалауын тудыруы мүмкін.
