Фотолитография әдетте компьютер чиптерін шығару үшін пайдаланылады. Компьютерлік чиптерді шығарған кезде субстрат материалы кремнийден жасалған қарсылықпен жабылған пластинка болып табылады. Бұл процесс жүздеген чиптерді бір кремний пластинасына бір уақытта салуға мүмкіндік береді.
Фотолитография қалай жасалады?
Фотолитография үлгіні маскадан вафлиге тасымалдау үшін үш негізгі процесс қадамын пайдаланады: жабу, өңдеу, экспозиция. Үлгі пластинаның беткі қабатына келесі процесс кезінде тасымалданады. Кейбір жағдайларда қарсылық үлгісін салынған жұқа қабықтың үлгісін анықтау үшін де пайдалануға болады.
Неге фотолитография деп аталады?
Жартылай өткізгіш литография (фотолитография) - Негізгі процесс . Интегралдық схеманы (IC) жасау жартылай өткізгіш (мысалы, кремний) субстратта орындалатын әртүрлі физикалық және химиялық процестерді қажет етеді. … Литография сөзі гректің lithos – тастар және graphia – жазу дегенді білдіреді.
Литография неліктен маңызды?
Литография - жартылай өткізгіш пластинаның бетін жабатын радиацияға сезімтал материалдың жұқа қабатына (қарсылық деп аталады) маскадағы геометриялық пішіндердің үлгілерін тасымалдау процесі. 5.1-суретте IC өндірісінде қолданылатын литографиялық процесс схемалық түрде көрсетілген.
Литографиялық әдістерде ең көп қолданылатын әдіс қандай?
Оптикалықлитография - фотон негізіндегі әдіс, кескінді кремний пластинасы сияқты субстратқа қапталған фотосезімтал эмульсияға (фоторезист) проекциялаудан тұрады. Бұл жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде наноэлектрониканы жоғары көлемде өндіруде ең көп қолданылатын литография процесі.
