Қарапайым ағылшынша Уикипедиядан, тегін энциклопедиядан. Фотолитография фотография мен литографияның үйлесімі. Оның қолданылуына фотосуреттерді жаппай басып шығару кіреді.
Фотолитография дегенді қалай түсінесіз?
Фотолитография, сондай-ақ оптикалық литография немесе УК-литография деп аталады, жұқа қабықтағы немесе субстраттың негізгі бөлігіндегі (сонымен қатар пластинка деп те аталады) бөлшектерді үлгілеу үшін микрофабрикацияда қолданылатын процесс.. … Бұл әдіс өлшемі бірнеше ондаған нанометрге дейінгі өте кішкентай үлгілерді жасай алады.
Неге фотолитография деп аталады?
Жартылай өткізгіш литография (фотолитография) - Негізгі процесс . Интегралдық схеманы (IC) жасау жартылай өткізгіш (мысалы, кремний) субстратта орындалатын әртүрлі физикалық және химиялық процестерді қажет етеді. … Литография сөзі гректің lithos – тастар және graphia – жазу дегенді білдіреді.
Фотолитографияның қандай түрлері бар?
Шолу. Экспозиция үшін қолданылатын сәулеленуге байланысты литографиялық әдістердің әртүрлі түрлері бар: оптикалық литография (фотолитография), электронды сәулелік литография, рентгендік литография және иондық сәулелік литография.
Нанотехнологиядағы фотолитография дегеніміз не?
Фотолитография - құрылғы материалының кесіндісінің бетіндегі үлгіні анықтау процесі. … Үлгіні анықтау фоторезисттің қабатын айналдыру арқылы орындалады(ультракүлгін сәулеге сезімтал сұйықтық) құрылғы материалының бір бөлігіне. Содан кейін қарсылық маска арқылы ультракүлгін сәулеге таңдамалы түрде әсер етеді.
