Фотолитография - геометриялық үлгілерді пленкаға немесе субстратқа тасымалдау үшін микрофабрикацияда қолданылатын процесс. Жартылай өткізгіштегі геометриялық пішіндер мен үлгілер қоспаларға, электрлік қасиеттерге және сымдарға тізбекті аяқтауға және технологиялық мақсатты орындауға мүмкіндік беретін күрделі құрылымдарды құрайды.
Фотолитография процесі дегеніміз не?
Фотолитография, сондай-ақ оптикалық литография немесе ультракүлгін литография деп те аталады, жұқа пленкадағы бөлшектерді немесе субстраттың негізгі бөлігін (вафли деп те атайды) үлгілеу үшін микрофабрикацияда қолданылатын процесс. … Күрделі интегралды схемаларда CMOS пластинасы фотолитографиялық циклден 50 рет өтуі мүмкін.
Микроөндіру процесі дегеніміз не?
Микроөндіріс - бұл микрометрлік масштабтағы және одан кішірек миниатюралық құрылымдарды жасау процесі. … Микрофабрикацияның негізгі ұғымдары мен принциптері микролитография, қоспалау, жұқа қабықшалар, ою, байланыстыру және жылтырату болып табылады.
Жартылай өткізгіштердегі литография процесі дегеніміз не?
Жартылай өткізгішті литография жүйесі процесін жүзеге асырады, оның көмегімен үлкен шыны пластинадан жасалған фотомаскаға салынған өте күрделі тізбек үлгілері ультра жоғары өнімді линзалар арқылы азайтылады жәнедеп аталатын кремний субстратына әсер етеді.вафельді. …
Өндіріс процесіндегі литография дегеніміз не?
Литография дегенімізжартылай өткізгіш пластинаның бетін жабатын радиацияға сезімтал материалдың жұқа қабатынабетпердедегі геометриялық фигуралардың үлгілерін ауыстыру процесі. 5.1-суретте IC өндірісінде қолданылатын литографиялық процесс схемалық түрде көрсетілген.
