Металл органикалық химиялық буларды тұндыру (MOCVD) - жоғары таза кристалды қосылыс жартылай өткізгіш жұқа үлбірлер мен микро/наноқұрылымдарды жасау үшін қолданылатынпроцесс. Дәлдік дәл реттеуге, кенет интерфейстерге, эпитаксиалды тұнбаға және қоспаны бақылаудың жоғары деңгейіне оңай қол жеткізуге болады.
MOCVD мен CVD арасындағы айырмашылық неде?
MOCVD. Металл органикалық химиялық буларды тұндыру (MOCVD) әдетте кристалды микро/нано жұқа қабықшалар мен құрылымдарды тұндыру үшін қолданылатын химиялық бу тұндыруының (CVD) нұсқасы болып табылады. Жақсы модуляцияға, кенет интерфейстерге және қоспаны басқарудың жақсы деңгейіне оңай қол жеткізуге болады.
Химиялық булардың тұнуы үшін қандай екі фактор болуы керек?
Алайда, CVD процестері әдетте жоғары температура мен вакуумдық ортаны талап етеді және прекурсорлар ұшпа болуы керек.
Pecvd жүйесі дегеніміз не?
Плазмадағы жақсартылған химиялық бу тұндыру (PECVD) - бұл түрлі материалдардан жасалған жұқа қабықшаларды стандартты Химиялық бу тұндыруымен (CVD) салыстырғандатөмен температурада субстраттарға қоюға болатын процесс.). Біз жоғары сапалы фильмдер шығаратын PECVD жүйелерімізде көптеген жаңалықтарды ұсынамыз. …
Pecvd физикалық буды тұндыру әдісі ме?
PECVD - көп түрлі фильмдерді қоюға арналғанжақсы қалыптасқан әдіс. Құрылғының көптеген түрлері жоғары сапалы пассивация немесе жоғары тығыздық маскаларын жасау үшін PECVD талап етеді.
